[实用新型]显影液喷淋装置有效
| 申请号： | 201320043417.7 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN203037995U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 肖宇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影液喷淋装置，包括：多根设置在基板上方的相互平行的喷管，以及与所述喷管相连的显影液供应单元；所述喷管上开设有多个喷嘴，通过所述喷嘴向所述基板表面喷淋显影液；所述喷管相对于所述基板的运动方向倾斜设置，相邻的两根喷管上的喷嘴沿喷管的中心轴线方向交替设置。本实用新型通过将喷管相对于基板运动方向倾斜设置，能够延长基板正上方所对应的喷管的长度，增加喷嘴的设置数量，提高显影液喷淋的均匀性；相邻两根喷管上喷嘴的交替设置，能够使喷嘴的分布更加均匀，减少喷嘴之间的相互干扰，提高显影液喷淋的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
一种显影液喷淋装置，包括：多根设置在基板上方的相互平行的喷管，以及与所述喷管相连的显影液供应单元；所述喷管上开设有多个喷嘴，通过所述喷嘴向所述基板表面喷淋显影液；其特征在于，所述喷管相对于所述基板的运动方向倾斜设置，相邻的两根喷管上的喷嘴沿喷管的中心轴线方向交替设置。
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