[实用新型]显影液喷淋装置有效
| 申请号： | 201320043417.7 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN203037995U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 肖宇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影液 喷淋 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影液喷淋装置，包括：多根设置在基板上方的相互平行的喷管，以及与所述喷管相连的显影液供应单元；所述喷管上开设有多个喷嘴，通过所述喷嘴向所述基板表面喷淋显影液；其特征在于，所述喷管相对于所述基板的运动方向倾斜设置，相邻的两根喷管上的喷嘴沿喷管的中心轴线方向交替设置。
2.如权利要求1所述的显影液喷淋装置，其特征在于，所述喷管的中心轴线与所述基板的运动方向所成的夹角在80°~85°之间。
3.如权利要求1所述的显影液喷淋装置，其特征在于，相邻的两根喷管中，其中第一喷管上的一个喷嘴距离第二喷管上交替排列在该一个喷嘴两侧的两个喷嘴的距离相等。
4.如权利要求1所述的显影液喷淋装置，其特征在于，相邻的两根喷管之间的距离相等。
5.如权利要求1所述的显影液喷淋装置，其特征在于，每根喷管上，相邻两个喷嘴之间的距离相等。
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