[实用新型]显影液喷淋装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显影工艺，特别是涉及一种显影液喷淋装置。

背景技术

在液晶显示屏制备工艺中，曝光显影技术应用十分广泛，传统的显影技术是通过在曝光后的基板上方设置显影液喷淋装置将显影液均匀的喷洒在基板表面上，实现对曝光后光刻胶的显影。

传统的显影液喷淋装置包括设置在基板上方的多根相互平行的喷管，喷管的中心轴线与基板的运动方向相垂直，每根喷管上均设置有多个间隔一定距离的喷嘴，喷嘴开口朝向基板表面。喷管与显影液供应单元连接，将显影液供应至喷管内，通过喷嘴喷射至基板表面。由于喷嘴在喷管上均匀设置，所有的喷嘴分布形成规则的行列形式，这样容易造成显影液在基板表面喷洒不均匀。并且，相邻喷管上喷嘴间距离较近，会相互干扰，会引起显影不良现象出现。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何提高显影液在基板表面喷淋的均匀性，并能够避免相邻喷管上喷嘴之间的干扰。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种显影液喷淋装置，包括：多根设置在基板上方的相互平行的喷管，以及与所述喷管相连的显影液供应单元；所述喷管上开设有多个喷嘴，通过所述喷嘴向所述基板表面喷淋显影液；所述喷管相对于所述基板的运动方向倾斜设置，相邻的两根喷管上的喷嘴沿喷管的中心轴线方向交替设置。

其中，所述喷管的中心轴线与所述基板的运动方向所成的夹角在80°~85°之间。

其中，相邻的两根喷管中，其中第一喷管上的一个喷嘴距离第二喷管上交替排列在该一个喷嘴两侧的两个喷嘴的距离相等。

其中，相邻的两根喷管之间的距离相等。

其中，每根喷管上，相邻两个喷嘴之间的距离相等。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的显影液喷淋装置，通过将喷管相对于基板运动方向倾斜设置，能够延长基板正上方所对应的喷管的长度，增加喷嘴的设置数量，提高显影液喷淋的均匀性；相邻两根喷管上喷嘴的交替设置，能够使喷嘴的分布更加均匀，减少喷嘴之间的相互干扰，提高显影液喷淋的良率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的显影液喷淋装置的应用示意图。

其中，1：基板；2：喷管；3：喷嘴。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

图1示出了本实施例显影液喷淋装置的应用示意图，参照图示，本实施例显影液喷淋装置用于向曝光后的基板喷淋显影液，其具体包括：多根设置在基板1上方的相互平行的喷管2，以及与所述喷管2相连的显影液供应单元（图中未示出）；所述喷管2上开设有多个喷嘴3，通过所述喷嘴3向所述基板1表面喷淋显影液；对于显示区域面积一定的基板1，为了增加基板1上方喷嘴3的数量，提高显影液喷淋的均匀性，本实施例将所述喷管2相对于所述基板1的运动方向（图1中箭头所示及标注v的方向）倾斜设置，所述喷管2在所述基板1上方的有效长度增加，在该有效长度上所设置的喷嘴3的数量也会相应增加，能够提高显影液喷淋的均匀性；进一步地，相邻的两根喷管2上的喷嘴3沿喷管2的中心轴线方向交替设置，即所有喷嘴3形成的行列布局中，每一行喷嘴3与所述基板1的运动方向呈一定夹角，将相邻两根喷管2上的喷嘴3投影到喷管2的中心轴线方向上，相邻两根喷管2上的喷嘴3在其投影的中心轴线方向上交替分布，该种设置方式能够实现喷嘴3在基板1的运动方向上以及喷管2的中心轴线方向上均匀分布，以任一个喷嘴3为中心，其周围的喷嘴3均匀分布，能够减少喷嘴3之间的相互干扰，提高显影液喷淋的良率。

优选地，所述喷管2的中心轴线与所述基板1的运动方向所成的夹角在80°~85°之间，以使喷嘴3的设置数量在满足喷嘴之间互不干扰的情况下达到最多。若该夹角过大，则不能有效的增加基板1上方喷管2的长度，相应地不能有效增加喷嘴3的设置数量；若该夹角过小，在保证相邻喷管2之间距离以及相邻喷嘴3之间距离的情况下，难以实现相邻的两根喷管2上的喷嘴3沿喷管2的中心轴线方向交替分布的效果，容易使得喷嘴3的行排布趋近于与基板1的运动方向相一致，这样使得喷嘴3在垂直于基板1的运动方向上不能实现交替分布，对显影液的均匀喷淋带来不良影响。

本实施例中，相邻的两根喷管2中，其中第一喷管上的一个喷嘴距离第二喷管上交替排列在该一个喷嘴两侧的两个喷嘴的距离相等，所述喷嘴在喷管的中心轴线方向的投影与位于相邻喷管上的两相邻喷嘴在所述喷管的中心轴线方向的投影之间的距离相等。