[发明专利]一种微压印模具分体式的制造方法有效
| 申请号： | 201310690969.1 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103676474A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张新平;陈珊;陈扶;桑博荣;于望 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微压印模具分体式的制造方法。所述方法是根据压印模具的目标图案设计所需的加工的模块；所述压印模具的目标图案单个图案之间间距小于1mm且单个图案尺寸至少有一维小于1mm，模块包括A、B模块，数量大于等于1；然后机械加工A、B模块和模块所对应的模块架；最后组合固定A、B模块组和对应的模块架形成微压印模具；所述A、B模块排列方式为交错排列，A、B模块之间无缝隙且A、B模块高不等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压印 模具 体式 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微压印模具分体式制造方法，其特征在于所述方法包括：（1）根据压印模具的目标图案设计所需的加工的模块；所述压印模具的目标图案单个图案之间间距小于1mm且单个图案尺寸至少有一维小于1mm ，模块包括A、B模块，数量大于等于1；（2）机械加工A、B模块和模块所对应的模块架；（3）组合固定A、B模块组和对应的模块架形成微压印模具；所述A、B模块排列方式为交错排列，A、B模块之间无缝隙且A、B模块高不等。
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