[发明专利]钨钛合金靶材、背板及钨钛合金靶材组件在审
| 申请号： | 201310674956.5 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104711526A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张亚光 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钨钛合金靶材、背板及钨钛合金靶材组件，所述钨钛合金靶材包括溅射面和焊接面，所述焊接面包括第一焊接区域、第二焊接区域以及第三焊接区域；所述第二焊接区域通过所述第三焊接区域与所述第一焊接区域连接，所述第一焊接区域到所述溅射面的距离大于所述第二焊接区域到所述溅射面的距离，溅射时所述第一焊接区域的磁场强度大于所述第二焊接区域的磁场强度。本发明提供的钨钛合金靶材的利用率高、使用寿命长、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 背板 组件 | ||
【主权项】：
一种钨钛合金靶材，包括溅射面，其特征在于，还包括焊接面，所述焊接面包括第一焊接区域、第二焊接区域以及第三焊接区域；所述第二焊接区域通过所述第三焊接区域与所述第一焊接区域连接，所述第一焊接区域到所述溅射面的距离大于所述第二焊接区域到所述溅射面的距离，溅射时所述第一焊接区域的磁场强度大于所述第二焊接区域的磁场强度。
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