[发明专利]耐磨铣刀的制备方法无效
| 申请号： | 201310610243.2 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103628033A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 金建华 | 申请（专利权）人： | 常熟市劲力工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 发明公开了一种耐磨铣刀的制备方法，包括如下步骤：1）将铣刀刀头外壁放入压力为7帕的真空室的转盘上；2）通入100～120sccm的氩气；3）关闭负偏压电源和氩气，抽真空至4帕；4）通入250～260sccm的氩气；5）通入300～320sccm的氮气；6）通入230～240sccm氩气；7）关闭所有气体，负偏压电源、钛靶磁控电源以及二硫化钼磁控电源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50～60分钟，得到耐磨铣刀。本发明制备的铣刀耐磨性强、硬度高、自润滑、摩擦系数低、表面光洁度高、耐干切削、耐氧化温度高。 | ||
| 搜索关键词： | 耐磨 铣刀 制备 方法 | ||
【主权项】：
耐磨铣刀的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）将铣刀刀头外壁放入压力为7帕的真空室的转盘上，升温至250～260℃，继续抽真空至4帕，启动转盘，转盘转速8转/分钟；2）通入100～120sccm的氩气，控制真空度在4～5帕，对铣刀施加负偏压‑850伏30～35分钟；3）关闭负偏压电源和氩气，抽真空至4帕；4）通入250～260sccm的氩气，控制真空度在2～3帕，施加负偏压‑400～‑600伏，开启钛靶磁控电源，电流20～25安，30～40分钟后负偏压调整为‑100～‑110V，沉积40～50分钟，形成钛的扩散过渡层；4）通入300～320sccm的氮气，关闭氩气，控制真空度在2～3帕，沉积15～20分钟，形成氮化钛支持层；6）通入230～240sccm氩气，控制真空度在3～4帕，开启二硫化钼磁控电源，磁控电流12～14安，沉积30～40分钟，形成二硫化钼氮化钛复合层；7）关闭所有气体，负偏压电源、钛靶磁控电源以及二硫化钼磁控电源，保持抽真空，控制真空度在0.003帕，50～60分钟，得到耐磨铣刀。
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