[发明专利]一种通过光伏测量提取肖特基势垒高度的方法

摘要

本发明涉及一种通过光伏测量提取肖特基势垒高度的方法，该方法通过测量pn结光伏型光电二极管的光伏提取出肖特基势垒高度，具体包括以下步骤：1)在开路条件下，用背景光源照射pn结光伏型光电二极管，测量光电二极管的稳态光伏，不断增强背景光源的光照强度直至光电二极管的稳态光伏不再增大；2)当稳态光伏值不再增大后，采用超快脉冲激光照射光电二极管，不断增强入射激光光强，使测量到的光电二极管瞬态光伏达到饱和，获得瞬态光伏极小值V₁；3)通过公式计算得到pn结光伏型光电二极管电极界面肖特基势垒高度。与现有技术相比，本发明具有能有效减少干扰、简单、方便、灵敏度高、对器件无损伤、实用性强等优点。

主权项

1.一种通过光伏测量提取肖特基势垒高度的方法，其特征在于，该方法通过测量pn结光伏型光电二极管的光伏提取出肖特基势垒高度，具体包括以下步骤：1)在开路条件下，用背景光源照射pn结光伏型光电二极管，测量光电二极管的稳态光伏，不断增强背景光源的光照强度直至光电二极管的稳态光伏不再增大；2)当稳态光伏值不再增大后，采用超快脉冲激光照射光电二极管，不断增强入射激光光强，使测量到的光电二极管瞬态光伏达到饱和，获得瞬态光伏极小值V₁；3)通过以下计算公式，得到pn结光伏型光电二极管电极界面肖特基势垒高度其中，为零偏压下pn结光伏型光电二极管电极界面肖特基势垒高度，单位为伏特；k为波尔兹曼常数；T为实验测量时样品的绝对温度，单位为开；q为电子电荷电量；N_A为二极管p区掺入的受主浓度，单位为每立方厘米；N_D为二极管n区掺入的施主浓度，单位为每立方厘米；n_i为实验测量时样品所处绝对温度下的本征载流子浓度，单位为每立方厘米；V₁为测量所得的瞬态光伏极小值，单位为伏特；m^*为载流子的有效质量，单位为千克；h为普朗克常数。