[发明专利]带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构

摘要

本发明涉及一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构，包括衬底、悬臂梁的锚区、悬臂粱、涂覆于衬底表面的静电下拉电极和接触电极以及弯梁电热执行器。所述弯梁电热执行器由锚区和通电可膨胀的两个弯梁分支组成；所述弯梁通过连接在分支末端的两个锚区的支撑，悬浮在衬底的上方和悬臂梁末端附近的下方，通电加热后，弯折端可向前延伸。本发明提供一种可以有效解决粘附失效问题的悬臂梁结构，从结构设计上增加弯梁电热执行器消除粘附，改善了因粘附而导致的故障率高、维护难、效率低的缺陷，提高运作的稳定性和可靠性，具有重要的实用价值。

主权项

一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构，包括衬底（1）、与悬臂梁一端连接的锚区（2）、悬臂粱（3）、位于悬臂梁（3）正下方的静电下拉电极（4）和位于悬臂梁（3）末端下方的接触电极（5），其中悬臂梁（3）通过锚区（2）悬挂在衬底（1）的上方，下拉电极（4）和接触电极（5）涂敷于衬底（1）的上表面，其特征在于：所述衬底（1）的上表面还设置有锚区（61、62）和弯梁组成的弯梁电热执行器，该弯梁由两根分支梁（71、72）组成，弯梁的两端与悬臂梁两侧的锚区（61、62）连接而悬浮在衬底（1）的上方，且该弯梁位于悬臂梁（3）的下方；两分支梁（71、72）的连接处位于悬臂梁（3）的正下方且靠近悬臂梁末端。