[发明专利]一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构

摘要

本发明公开了一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构，包括衬底、涂敷于衬底顶面上的静电下拉电极、锚区、悬挂主梁和弯折支撑梁。所述悬挂主梁通过四个锚区和弯折支撑梁悬挂在衬底上方；所述悬挂梁在下拉态（“down”态）向悬挂态（“up”态）转换过程中，通过对弯折支撑梁的欧姆加热，使悬挂主梁受到拉伸作用，提高了悬挂主梁的有效刚度，增强了回复力；所述弯折支撑梁中的纵梁采用双根并列的宽窄梁设计，使悬挂主梁更稳定，且加热后更有利于悬挂主梁从“down”态回复到“up”态。本发明还公开了增强回复力的具体工作方式，方法简单、方便可行。

主权项

一种热‑静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构，包括衬底（1）、锚区、悬挂在衬底上方的悬挂主梁（4），固定连接在衬底（1）的顶面且位于悬挂主梁（4）正下方中部的静电下拉金属电极（2），其特征在于：还包括两根弯折支撑梁（5、6），所述的两根弯折支撑梁（5、6）分别由一根与悬挂主梁（4）末端垂直连接的横梁（51、61）和与该横梁连接且平行于悬挂主梁（4）的两组双根并列的纵梁（52、53、54、55、62、63、64、65）组成，内侧纵梁为尺寸相同的宽梁，外侧纵梁为尺寸相同的窄梁；所述纵梁的末端连接在位于悬挂主梁（4）两侧的锚区（31、32、33、34）上；所述的静电下拉金属电极（2）上涂覆有防止悬挂梁与下拉电极接触时发生短路的介质薄层。