[发明专利]一种利用反应精馏技术处理氯硅烷废气的方法

摘要

本发明涉及氯硅烷物系精馏技术领域，多晶硅生产过程中，产生的大量氯硅烷废气，传统的碱中和法处理工艺，物耗大，不环保，同时制约了生产的连续稳定运行。本发明将废气引入精馏系统将废气作为原料，得到多晶硅生产的三氯氢硅，在工艺过程中进行热量回收和部分物料外部循环，成功地处理了氯硅烷废气，本发明具有提高氯硅烷利用率，减少后期废气处理压力，设备投资和操作成本低等有益效果。

主权项

利用反应精馏技术处理氯硅烷废气的方法，其特征为：1）氯硅烷废气从反应精馏塔反应段下部进入反应精馏塔，二氯二氢硅从反应段底部进入反应精馏塔，四氯化硅从反应段顶部进入反应精馏塔，三股进料在反应段内发生反应生成三氯氢硅；2）反应后含三氯氢硅的气相混物料进入反应精馏塔精馏段，精馏后三氯化硅气相分离出来，含四氯化硅的液相混合物料进入精馏塔提馏段；3）在精馏作用下塔顶气相物料中含有纯度较高的三氯氢硅经过塔顶冷凝器冷凝后分为液相回流物料，回流至塔顶内，另一部分作为三氯氢硅在塔顶采出，不凝气在塔顶排出；4）塔底出来的液相物料含有纯度较高的四氯化硅，分为两部分，一部经过塔底再沸器加热后形成回塔蒸汽返回精馏塔，另一部分高温物料经过冷器冷却分为两部分，一部分物料高沸物残液排出，另一部分物料作为中温物料经过低温冷却器后成为低温物料，用于外部循环，返回反应精馏塔。