[发明专利]一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201310554881.7 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103560147A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 刘萍 | 申请（专利权）人： | 深圳丹邦投资集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/24 | 分类号： | H01L29/24;H01L21/203;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518057 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮磷氧锌薄膜及其制备方法和薄膜晶体管，所述氮磷氧锌薄膜的组成为ZnxPyO1-x-y-zNz，其中，55%≤x≤65%，1%≤y≤10%，10%≤z≤22%，各原子的原子个数百分比之和为100%。通过离子溅射沉积该氮磷氧锌薄膜，同时对于给定薄膜材料制作的薄膜晶体管获得高载流子迁移率和高稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮磷氧锌 薄膜 及其 制备 方法 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种氮磷氧锌薄膜，其特征在于：所述氮磷氧锌薄膜的组成为ZnxPyO1‑x‑y‑zNz，其中，55%≤x≤65%，1%≤y≤10%，10%≤z≤22%，各原子的原子个数百分比之和为100%。
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