[发明专利]柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统

摘要

本发明涉及一种柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统，包括真空室，其特征在于：真空室由真空室腔体及真空室门构成，真空室为呈多边棱柱状或圆柱状的密封结构；在真空室设有一个或多个连接口，在真空室侧立面设有一个或多个矩形法兰孔；在矩形法兰孔处设有易装拆式矩形法兰板，矩形法兰板中设有靶座连接孔，构成柔性化的连接机构；在靶座连接孔处设有挡板装置，通过靶座连接孔装配不同形式靶座，在矩形法兰板上形成具有多种不同形式易装拆式靶座的连接机构，形成具有不同功能的模块装置；由若干个模块化装置，构成模块化多功能镀膜设备，实现设备柔性化的配置。本发明通过不同靶材的组合及智能控制系统，实现多元复合涂层、纳米涂层等工艺，具有提高涂层性能的有益效果。

主权项

1.柔性化多功能真空镀膜设备，包括真空室(1)，其特征在于：1)真空室(1)由真空室腔体及真空室门(2)构成，真空室(1)为呈多边棱柱状或圆柱状的密封结构；在真空室(1)设有一个或多个连接口(5)，通过连接口(5)与真空获得设备连接，在真空室侧立面设有一个或多个矩形法兰孔(3)；在矩形法兰孔(3)处设有易装拆式矩形法兰板(6)，矩形法兰板(6)中设有一个或多个靶座连接孔(7)，构成柔性化的连接机构；2)在第1)点所述的部分或全部靶座连接孔(7)处设有挡板装置(9)，通过靶座连接孔(7)装配不同形式靶座，在矩形法兰板上形成具有多种不同形式易装拆式靶座的连接机构，形成具有不同功能的模块装置；或者通过更换不同结构的矩形法兰板及挡板装置(9)，进行不同形式靶座的更换，形成具有不同功能的模块装置；由若干个模块装置，构成模块化多功能镀膜设备，实现设备柔性化的配置。