[发明专利]激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器有效
申请号: | 201310529170.4 | 申请日: | 2013-10-31 |
公开(公告)号: | CN103557936A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 常明超;刘宇;谢亮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;H01S5/02;H01S5/40 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器。该激光功率监测组件包括:纳米线光栅,具有一定厚度,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出;以及光探测器,其光敏面正对纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。本发明通过加入纳米线光栅,将预设比例的入射激光引入偏离入射方向的侧面,由放置于侧面的光探测器来侦测激光功率,由该激光功率可以得出整个入射激光的功率,金属纳米线光栅和光探测器均不会阻挡入射激光,方便了光探测器的布局。 | ||
搜索关键词: | 激光 功率 监测 组件 应用 发射 模块 放大器 | ||
【主权项】:
一种激光功率监测组件,其特征在于,包括:纳米线光栅,具有一定厚度,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在所述光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出;以及光探测器,其光敏面正对所述纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由所述纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。
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