[发明专利]多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法及装置有效
| 申请号： | 201310508298.2 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103529274B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王贞福;刘兴胜 | 申请（专利权）人： | 西安炬光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法，有以下步骤对多发光单元半导体激光器发出的光进行快、慢轴准直；在快慢轴准直镜的后面放置显微物镜，用于半导体激光器多个发光单元在空间上放大，放大后的发光单元通过孔径光阑将各个独立的发光单元分离出来，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；通过改变驱动电流的大小，获得该发光单元相应的输出光功率；依次得到每个发光单元的阈值电流；形成空间阈值电流信息图。本发明能够测量多发光单元半导体激光器的空间阈值电流信息，进而实现评价半导体激光器封装所所产生的应力，从而指导和改善封装工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 多发 单元 半导体激光器 空间 阈值 电流 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多发光单元半导体激光器空间阈值电流的测试方法，包括以下步骤：(1)对多发光单元半导体激光器发出的光进行快轴准直和慢轴准直；(2)在快慢轴准直镜的后面放置显微物镜，用于半导体激光器多个发光单元在空间上放大，放大后的发光单元通过孔径光阑将各个独立的发光单元分离出来，调节孔径光阑的位置以及通光孔径只允许一个发光单元的光通过；(3)利用光电探测器对该发光单元进行功率测试，通过改变驱动电流的大小，获得该发光单元相应的输出光功率；(4)采用直线拟合法得到该发光单元的阈值电流；(5)保持多发光单元半导体激光器位置不动，通过移动孔径光阑，按照步骤(3)、(4)依次得到每个发光单元的阈值电流；(6)最后得到所有发光单元的阈值电流，形成空间阈值电流信息图。
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