[发明专利]一种石英材料腐蚀液和腐蚀方法有效
| 申请号： | 201310488507.1 | 申请日： | 2013-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103553350A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 秦淑斌;袁枫;张兰;刘英;周峰;魏超 | 申请（专利权）人： | 航天科工惯性技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100070 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种石英材料腐蚀液和腐蚀方法。所述的腐蚀液由氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水组成，其质量百分比为：氢氟酸占10％～19％，无机酸占35％～50％，阳离子表面活性剂占4％～7％，去离子水占24％～51％。本发明所述的腐蚀液通过降低液体表面张力，提高了对石英材料的浸润性，起到减少腐蚀加工造成的表面缺陷的目的。本发明应用该腐蚀液的石英材料腐蚀方法，通过低浓度腐蚀液预蚀刻，避免沾污及磨抛加工缺陷在后续的腐蚀加工过程中造成表面疖瘤缺陷；通过在较高温度和浓度的腐蚀液中腐蚀加工，提高加工速度，同时减少不均匀腐蚀造成的表面褶皱、条纹等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 材料 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种石英材料腐蚀液，其特征在于：该腐蚀液包括氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水；所述腐蚀液中氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水的质量比为：10～19：35～50：4～7：24～51。
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