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[发明专利]一种石英玻璃的盲槽加工装置及盲槽加工方法-CN202011129950.6有效
发明人：王宝军;袁枫;秦淑斌;魏超;顾文华;王文磊;杨金耋;刘佳佳;刘伶艳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英玻璃的盲槽加工装置及盲槽加工方法，其中，所述盲槽加工装置包括：反应池，以盛装石英玻璃及电解液；工具电极，设于反应池中，以作为阳极插入电解液；辅助电极，设于反应池中，以作为阴极插入电解液；超声振动机构，用于控制工具电极超声振动。本发明结构设计合理巧妙，结构简单，通过工具电极的超声振动带动了加工位置的电解液循环，在工具电极端部周围形成气层，从而增加火花放电的时间，提升加工效率；结合压力传感器和位移控制器，使工具电极施加在石英玻璃上的压力恒定，提高石英玻璃中盲槽深度的加工精度；极大地提高了盲槽加工的效率，解决了电化学加工难以在生产中实现在石英玻璃上的应用的问题。
一种石英玻璃加工装置方法

[发明专利]一种摆组件装配装置及装配方法-CN202111585390.X在审
发明人：徐国栋;刘洋;吴楠;秦淑斌;付秀娟;张宏杰;赵丽娟;刘伶艳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B23P19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种摆组件装配装置及装配方法，装置包括：施力框、V形座、第一滑块和第二滑块；所述V形座安装于所述施力框内，所述第一滑块和第二滑块分别位于所述V形座的两侧；所述V形座用于对摆组件的摆片进行定位，所述第一滑块和第二滑块分别用于对摆组件的两个动圈进行定位，所述施力框用于为所述第一滑块和第二滑块施加夹紧力，使得两个动圈和摆片进行粘接；该装置能够有效节约摆组件的装配流程，减小了摆组件的装配难度。
一种组件装配装置方法

[发明专利]一种加速度计摆片加工系统及方法-CN202111583813.4在审
发明人：刘洋;杨杏敏;袁枫;于湘涛;秦淑斌;于皓;彭振新;彭福英;田丰;刘佳佳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种加速度计摆片加工系统及方法，系统包括液体脱泡机、加热喷涂设备以及可翻转定位温控装置；加热喷涂设备包括上料仓、上料仓温控套筒、点胶喷头以及点胶喷头温控装置；可翻转定位温控装置包括摆片装载框和温控加热盘；上料仓用于存储微晶蜡，所述上料仓温控套筒用于对所述微晶蜡进行加热，所述点胶喷头用于在点胶喷头温控装置的控制下对待涂摆片进行喷涂；摆片装载框用于固定待涂摆片，所述温控加热盘用于将待涂摆片加热至预设温度；加工方法人工操作简单，可重复性高。
一种加速度计加工系统方法

[发明专利]一种评估摆组件特性的装置-CN202111321409.X在审
发明人：刘洋;魏超;于湘涛;杨杏敏;秦淑斌;潘天鹏;赵丽娟;刘伶艳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种评估摆组件特性的装置，包括压力加载框架、摆组件固定座、检测帽、加压螺栓；压力加载框架包括两个固定部；摆组件固定座安装在压力加载框架的一个固定部中，所述摆组件固定座包括放置摆组件的定位托和置于定位托中心凹腔的磁钢；检测帽放置在摆组件上，所述检测帽设置至少两个电容测量设备，用于检测摆组件中心摆、沿摆轴对称金区的位置；加压螺栓安装在压力加载框架另一固定部中，加压在检测帽上；摆组件固定座、检测帽、加压螺栓中心轴共线。该装置能够精准测量摆组件中心摆两侧在摆动过程中的位置差异，有效评估摆组件平桥的扭曲状态，装置操作简单，可重复性强。
一种评估组件特性装置

[发明专利]一种摆组件装配装置及装配方法-CN202111323342.3在审
发明人：徐国栋;吴楠;刘洋;秦淑斌;王洋;于湘涛;李贺;张宏杰 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B23P19/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种摆组件装配装置及装配方法，该装置包括底座、V形座、第一滑块和第二滑块；底座具有第一倾斜平面和第二倾斜平面，第一倾斜平面与第二倾斜平面垂直且相邻；V形座设置在第二倾斜平面上，且与第一倾斜平面相接触，V形座设有V形槽，V形槽的内侧壁设有用于放置摆片的沉槽；摆片的一侧设置有第一滑块，另一侧设置有第二滑块，第一滑块可滑动地设置在V形槽上，第一滑块朝向摆片的一侧设有第一定位结构，第一滑块内设有第一加热单元；第二滑块可滑动地设置在V形槽上，第二滑块朝向摆片的一侧设有第二定位结构，第二滑块内设有第二加热单元。本发明能够解决现有技术中装配装置无法在线快速固化以及对准难度较大的技术问题。
一种组件装配装置方法

[发明专利]一种玻璃化学蚀刻速率在线检测装置和方法-CN201911011961.1有效
发明人：王宝军;袁枫;秦淑斌;吴楠;魏超;王志;王文磊;杨金耋;邵彦杰 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种玻璃化学蚀刻速率在线检测装置及方法，通过夹持工具夹将待蚀刻玻璃以及与预减薄厚度相同的蚀刻试片放入化学蚀刻溶液里；激光发生器及传感器发射激光到蚀刻试片上，激光的反射传感信号传递到信号处理单元；当信号处理单元接收不到激光发生器及传感器激光反射信号时，立刻将夹持在玻璃夹持工具上的待蚀刻玻璃从化学蚀刻液中取出，放入清水中清洗，完成化学蚀刻操作，记录蚀刻时间T′,蚀刻速率V′＝D/T′。本装置和方法结构简单，灵活性高，精度高，能实时在线动态测量玻璃化学蚀刻速率。
一种玻璃化学蚀刻速率在线检测装置方法

[发明专利]将表芯自壳体中分离的装置及方法-CN202011542014.8有效
发明人：刘洋;杨杏敏;秦淑斌;于皓;杨守安;彭福英;彭振新;毕根凤;赵元丽 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种将表芯自壳体中分离的装置及方法，该将表芯自壳体中分离的装置包括：框体；安装于框体的液压器；壳体固定架，其设有分离通孔，表芯能够穿设于分离通孔中，且分离通孔的端面能够支撑壳体，液压器与壳体固定架连接，用于驱动壳体固定架向上移动；顶锥，其固设于框体，且位于壳体固定架的上方，顶锥的下端设有沿从下往上的方向逐渐扩张的扩大面，顶锥的下端能够伸入位于壳体固定架上的壳体中；推杆和与推杆连接的推杆驱动机构，推杆设置于顶锥的下端面，推杆驱动机构能够驱动推杆向下移动，伸出至顶锥的下端面的下方。通过本发明，缓解了现有技术中拆解表头时，操作费时费力，表芯容易受损的技术问题。
将表芯壳体分离装置方法

[发明专利]一种电阻检测装置及方法-CN201911064504.9有效
发明人：王宝军;袁枫;秦淑斌;周峰;王志;杨金耋;李雪松;刘佳佳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本发明公开一种电阻检测装置及方法，该装置包括用于容纳挠性结构的载体，所述载体的内部设有多个可调节位置的检测点，在检测时检测点可根据其与挠性结构的相对位置调整其位置。该装置结构简单，灵活性高，能同时实现多个单面电阻及双面电阻的检测取样，不会造成挠性结构的损坏。
一种电阻检测装置方法

[发明专利]加速度计装配装置及装配方法-CN202110928036.6在审
发明人：刘洋;杨杏敏;于湘涛;彭振新;袁枫;秦淑斌;彭福英;苏鑫;任敬坤;赵丽娟 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B23P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域，公开了一种加速度计装配装置及装配方法。该装置包括同心座、底座、导向元件和定位元件，同心座包括上、下底板和设置在上、下底板间的支撑侧板，上底板有第一通孔，下底板有第二通孔，第一通孔和第二通孔中心轴共线；底座的下端置于第二通孔中，底座的上端设置加速度计的下力矩器且底座的上端设置有表面通孔和定位标记，定位标记用于确定加速度计的摆组件的三个凸台的设置位置及下力矩器的上端面涂抹胶粘剂的位置，摆组件通过定位元件与表面通孔配合实现定位；导向元件的下端设置在摆组件上且具有三个凸台，导向元件的三个凸台与摆组件的三个凸台相配合，导向元件的上端置于第一通孔中。由此可实现加速度计低预紧力装配。
加速度计装配装置方法

[发明专利]一种激光辅助的化学腐蚀加工方法-CN201911293519.2有效
发明人： 秦淑斌;王宝军;袁枫;于湘涛;魏超;潘天鹏;任增辉;杨金耋 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光辅助的化学腐蚀加工方法。该激光辅助的化学腐蚀加工方法包括以下步骤：将石英玻璃基片的待加工面浸入碱性腐蚀液中；将激光聚焦于石英玻璃基片的待加工面与碱性腐蚀液接触的界面处；通过激光焦点与石英玻璃基片的相对位移，使激光焦点在目标区域内扫描进行加工；将加工后的石英玻璃基片从碱性腐蚀液中取出后，进行清洗。本发明通过激光的局部加热，然后利用碱性腐蚀液将局部的石英材料腐蚀去除，从而形成特定结构。本发明加工方法能通过对目标区域材料的有效去除实现石英玻璃基片上精细结构的加工。
一种激光辅助化学腐蚀加工方法

[发明专利]石英摆片结构及其加工方法-CN202110434041.1在审
发明人：袁枫;秦淑斌;于皓;王洋;顾文华;张姝婷;王文磊;刘佳佳;赵龙 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英摆片结构及其加工方法，该结构包括支撑环、两个椭锥形挠性梁、摆舌、导电金区和多个凸台，支撑环具有定位圆槽口，两个椭锥形挠性梁相对于石英摆片结构的摆轴对称设置，任一椭锥形的横截面均由第一直线段、第一弧形段、第二直线段和第二弧形段首尾连接而成，任一椭锥形的横截面的宽度沿第一直线段向第二直线段依次减小，两个椭锥形挠性梁的由第一直线段组成的端部均与支撑环连接，摆舌与两个挠性梁的由第二直线段组成的端部连接，多个凸台间隔设置在支撑环上且朝向摆舌突出设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感零件摆片易受外力造成损伤，导致加速度计的精度提升困难的技术问题。
石英结构及其加工方法

[发明专利]加速度计表头装接夹具及加速度计安装误差角的控制方法-CN202011533438.8在审
发明人：刘洋;杨杏敏;秦淑斌;吴楠;韩旭;许中生;李平;任敬坤;孙树红 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明为一种加速度计表头装接夹具及加速度计安装误差角的控制方法，加速度计表头装接夹具包括夹具底座、夹具上盖和调整结构，夹具底座内设置壳体容置腔，夹具底座用以支撑固定夹具上盖，夹具底座的外壁用于提供翻滚测试的接触面；夹具上盖用于悬挂调整结构且能扣合于夹具底座上；调整结构包括表芯固定部，表芯固定部用于能拆卸地连接固定表芯，调整结构还包括能顶抵调整表芯固定部安装角度的多个位置调整螺钉。本发明通过设计专用的加速度计表头装接夹具，随时依据表芯状态调整安装角度，表芯位置受零件加工精度以及胶粘剂固化过程影响小，提高加速度计的整体精度，降低了成本。
加速度计表头夹具安装误差控制方法

[发明专利]力矩器线圈骨架及其与中心摆的连接方法-CN202011505506.X在审
发明人：杨杏敏;刘洋;于湘涛;秦淑斌;彭福英;彭振新;李平;赵丽娟;刘伶艳 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01P1/00 文献下载
摘要：本发明为一种力矩器线圈骨架及其与中心摆的连接方法，力矩器线圈骨架包括骨架管体，所述骨架管体采用石英玻璃材料构成；所述骨架管体的两端分别套设第一环板和第二环板，所述第一环板、所述骨架管体的外壁和所述第二环板之间构成绕线槽；所述第二环板上沿周向间隔设置多个凸台，各所述凸台向远离所述第一环板的方向延伸设置；所述第二环板上还设置整形线固定槽。本发明解决原有骨架和粘接剂线胀系数大、宽温度范围内偏值输出变化大的问题，本发明能有效提高加速度计偏值输出稳定性，增加加速度计输出量程。
力矩线圈骨架及其中心连接方法

[发明专利]消除石英玻璃亚表面层缺陷的方法-CN201710858637.8有效
发明人：王宝军;秦淑斌;袁枫;吴楠;张晟;隗春燕;杨金耋 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种消除石英玻璃亚表面层缺陷的方法，该方法包括：清洗石英玻璃，并对清洗后的石英玻璃进行轻量腐蚀；在石英玻璃的表面旋涂二氧化硅溶胶；对旋涂有二氧化硅溶胶的石英玻璃进行高温处理；轻量腐蚀石英玻璃，以去除石英玻璃表面的二氧化硅溶胶。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中在不破坏石英玻璃表面结构前提下无法消除石英玻璃的亚表面层缺陷的技术问题。
消除石英玻璃表面缺陷方法

[发明专利]一种Au薄膜的制备方法-CN201810781004.6有效
发明人： 秦淑斌;王宝军;袁枫;周锋;许中生;王志;韩旭;王文磊 -专利权人：航天科工惯性技术有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种Au薄膜的制备方法，通过控制平面Cr靶和平面Au靶的运动速度，同时调节平面Cr靶和平面Au靶的靶基距，使Cr层和Au薄膜的成膜速度成比例变化，在Cr层和Au薄膜之间形成合金过渡层，并且在此过程中，使Au的功率密度相对于Cr的功率密度线性调整，减少了因Cr和Au的溅射产额差异造成的成膜速度不一致，与采用合金靶镀制过渡层相比，可以实现Cr、Au成分的连续变化，降低异质结构之间热膨胀系数等指标的非连续性，进而提高了Au薄膜结构的稳定性。
一种 au 薄膜制备方法

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