[发明专利]一种磁控溅射在塑料上制铝氧化锌膜的方法

摘要

本发明所述的一种磁控溅射在塑料上制铝氧化锌膜的方法，是采用对传统溅射镀膜工艺进行改进，以实现塑料基材上进行磁控溅射镀膜的方法，通过在塑料基材上镀铝氧化锌，有效的避免了塑料基材的放气，使镀膜不变黑，具有较好的镜面效果；同时该方法的利用，有效的解决了在塑料部件上直接溅射镀铝膜时，附着力差的问题。

主权项

一种磁控溅射在塑料上制铝氧化锌膜的方法，包括：第一步：将工件经过超声波除油、清洗、烘干后送入磁控溅射装置，然后抽真空至5×10‑3Pa；第二步：进行磁控溅射镀铝氧化锌薄膜，将本底抽真空至5×10‑3Pa，溅射气体为氩气，气压0.1‑0.9Pa，溅射功率2‑5W/cm2，沉积时间为20‑50s；第三步：停止铝氧化锌镀膜，关闭溅射电源，关闭工艺气体氩气，将镀膜室本底真空抽至5×10‑3Pa；第四步：进行磁控溅射镀铝薄膜，将本底抽真空至5×10‑3Pa，溅射气体为氩气，溅射气压0.1‑0.9Pa，溅射功率2‑5W/cm2，沉积时间为70‑100s。