[发明专利]微流控芯片合片机有效
申请号: | 201310411174.2 | 申请日: | 2013-09-09 |
公开(公告)号: | CN103474360A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 白向阳 | 申请(专利权)人: | 江阴迪林生物电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/68;H01L21/60 |
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地址: | 214434 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种微流控芯片合片机,包括底座、固化装置、定位盘、真空加压装置、控制机构;所述固化装置安装在底座顶部的槽孔内,固化装置包括固定在槽孔内底上的紫外线固化灯,紫外线固化灯上方的槽孔侧壁之间设置自动门;所述定位盘固定在底座顶部,定位盘包括安装与槽孔尺寸对应的盘面,盘面的四周设置内侧带有真空吸附孔的边舱,边舱的边角处设置由气缸控制的水平运动隔离用的挡片;所述真空加压装置设置在定位盘的正上方,真空加压装置包括由伺服电机A带动的与槽孔顶部外沿配合的外接真空泵的真空室,真空室内设置由伺服电机B驱动的与边舱内侧的盘面对应的真空腔。本发明具有自动化程度高、效率高、成本低、键合后无气泡、键合强度高的优点。 | ||
搜索关键词: | 微流控 芯片 合片机 | ||
【主权项】:
微流控芯片合片机,其特征在于:包括底座(1)、固化装置、定位盘、真空加压装置、控制机构,所述固化装置安装在底座(1)顶部的槽孔内,固化装置包括固定在槽孔内底上的紫外线固化灯(3),紫外线固化灯(3)上方的槽孔侧壁之间设置受控于控制机构进行开合动作的自动门(5),所述定位盘固定在底座(1)顶部,定位盘包括安装在槽孔顶部外沿上的与槽孔尺寸对应的盘面(6),盘面(6)的四周设置内侧带有真空吸附孔(11)的边舱(7),边舱(7)的边角处设置由气缸(8)控制的水平运动伸入相应盘面边角的用于隔离的挡片(10),所述真空加压装置设置在定位盘的正上方,真空加压装置包括由伺服电机A(20)通过丝杠螺母副带动的与槽孔顶部外沿配合的外接真空泵的真空室(9),真空室(9)内设置由伺服电机B(22)驱动的与边舱内侧的盘面对应的外接抽真空装置的真空腔,真空腔的下表面设置真空吸附小孔(24)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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