[发明专利]微流控芯片合片机有效

专利信息
申请号: 201310411174.2 申请日: 2013-09-09
公开(公告)号: CN103474360A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 白向阳 申请(专利权)人: 江阴迪林生物电子技术有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/68;H01L21/60
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214434 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种微流控芯片合片机,包括底座、固化装置、定位盘、真空加压装置、控制机构;所述固化装置安装在底座顶部的槽孔内,固化装置包括固定在槽孔内底上的紫外线固化灯,紫外线固化灯上方的槽孔侧壁之间设置自动门;所述定位盘固定在底座顶部,定位盘包括安装与槽孔尺寸对应的盘面,盘面的四周设置内侧带有真空吸附孔的边舱,边舱的边角处设置由气缸控制的水平运动隔离用的挡片;所述真空加压装置设置在定位盘的正上方,真空加压装置包括由伺服电机A带动的与槽孔顶部外沿配合的外接真空泵的真空室,真空室内设置由伺服电机B驱动的与边舱内侧的盘面对应的真空腔。本发明具有自动化程度高、效率高、成本低、键合后无气泡、键合强度高的优点。
搜索关键词: 微流控 芯片 合片机
【主权项】:
微流控芯片合片机,其特征在于:包括底座(1)、固化装置、定位盘、真空加压装置、控制机构,所述固化装置安装在底座(1)顶部的槽孔内,固化装置包括固定在槽孔内底上的紫外线固化灯(3),紫外线固化灯(3)上方的槽孔侧壁之间设置受控于控制机构进行开合动作的自动门(5),所述定位盘固定在底座(1)顶部,定位盘包括安装在槽孔顶部外沿上的与槽孔尺寸对应的盘面(6),盘面(6)的四周设置内侧带有真空吸附孔(11)的边舱(7),边舱(7)的边角处设置由气缸(8)控制的水平运动伸入相应盘面边角的用于隔离的挡片(10),所述真空加压装置设置在定位盘的正上方,真空加压装置包括由伺服电机A(20)通过丝杠螺母副带动的与槽孔顶部外沿配合的外接真空泵的真空室(9),真空室(9)内设置由伺服电机B(22)驱动的与边舱内侧的盘面对应的外接抽真空装置的真空腔,真空腔的下表面设置真空吸附小孔(24)。
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