[发明专利]一种赛隆陶瓷靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201310370661.9 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN104418595A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;王科 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/599 | 分类号： | C04B35/599;C04B35/58;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种赛隆陶瓷靶材的制作方法。包括：提供包括氮化硅、氧化铝、氮化铝、助烧剂以及导电剂的原料粉末；并将所述原料粉末混合均匀后，进行热压烧结处理，形成赛隆陶瓷靶材。采用本发明制得的赛隆陶瓷具有良好的导电性和导热性能，从而在线丝切割工艺中，加强赛隆陶瓷与移动中的电极丝之间不断产生脉冲性的火花放电，并在火花放电时瞬时产生高温，加快赛隆陶瓷与电极丝的接触部位的蚀除，改善赛隆陶瓷的切割性能，提高切割赛隆陶瓷的顺畅性，以及赛隆陶瓷的机械加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 制作方法 | ||
【主权项】：
一种赛隆陶瓷靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供包括氮化硅、氧化铝、氮化铝、助烧剂以及导电剂的原料粉末；将所述原料粉末混合均匀后，进行热压烧结处理，形成赛隆陶瓷靶材。
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