[发明专利]气体分配网络中的流量平衡

摘要

本发明涉及气体分配网络中的流量平衡，更具体地涉及将工艺气体供应给多站沉积室中的两或更多个站的流量分配网络。每个流量分配网络包括入口和用于将工艺气体运载至所述站的流量分配管线。所述流量分配管线包括入口下游的分支点和该分支点下游的两或更多条支线。每一条支线给站供应。该流量分配网络还在每一条支线中包括高度可变的流量元件。在每一条支线中，限制部件被设置在可变控制元件的下游。这些限制部件在标称上是相同的且被设计来将大部分压降从可变流量元件转移走以改善流量平衡，同时无需过于增加入口压强。在一些实施例中，负载转移允许较多可变的流量元件操作在未壅塞流态中。

主权项

一种用于将工艺气体供应给多站沉积室中的两或更多个站的流量分配网络，所述流量分配网络包括：用于接收所述工艺气体的入口；用于运载所述工艺气体的流量分配管线的网络，其包括所述入口下游的分支点和所述分支点下游的两或更多条支线，其中每一条支线具有用于将工艺气体供应给相应的站的出口；每一条支线中的具有Cv值的可变流量元件，该Cv值跨所述支线从一个可变流量元件到另一个可变流量元件以至少2％的幅度变化；以及每一条支线中的所述可变流量元件下游的限制部件，其中所述限制部件在标称上是相同的，其中从所述入口到所述出口，所述工艺气体的流跨所述流量分配网络产生系统压降，该系统压降至少与所述出口处的压强一样大。