[发明专利]检查用于太阳能电池的硅衬底的方法有效
申请号: | 201310337986.7 | 申请日: | 2013-08-05 |
公开(公告)号: | CN103575688A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 亚历山大·菲勒;安德烈亚斯·克劳斯;拉明·希拉 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司 |
主分类号: | G01N21/3563 | 分类号: | G01N21/3563;H01L31/18 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
地址: | 德国弗*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种检查用于太阳能电池的硅衬底的方法,具体地,本发明涉及一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法。该方法包括用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110),检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190),以及分析检测到的所述红外辐射(190)以表征所述硅衬底(110)的晶体取向。本发明另外还涉及一种用于实施这种方法的设备,以及一种用于制造太阳能电池(100)的方法。 | ||
搜索关键词: | 检查 用于 太阳能电池 衬底 方法 | ||
【主权项】:
一种用于检查用于太阳能电池(100)的线锯硅衬底(110)的方法,其包括如下方法步骤:‑用红外辐射(190)辐照所述硅衬底(110);‑检测透射穿过所述硅衬底(110)的所述红外辐射(190);以及‑分析检测到的所述红外辐射(190)以便表征所述硅衬底(110)的晶体取向。
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