[发明专利]光刻物镜中透镜轴向调整装置有效
| 申请号： | 201310322848.1 | 申请日： | 2013-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN103389558A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;杨怀江;隋永新;郭抗;王汝冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光刻物镜中透镜轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，该装置镜片设置在上镜框，镜框固定在上膜片上，三个驱动器周向均匀设置于镜筒上驱动器，且与连接环点接触；上膜片和下膜片内环均与连接环固定，上膜片和下膜片外环均与镜筒固定；当上膜片外环和下膜片外环固定，三个驱动器沿轴向运动时，推动连接环，并将位移量作用在上膜片内环和下膜片内环上，上膜片内环和下膜片内环沿轴向运动时，利用上膜片内外环连接弹片和下膜片内外环连接弹片自身的弹性变形实现机构的轴向运动；同时由于上膜片内外环连接弹片和下膜片内外环连接弹片均沿周向均匀分布，能够保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件上，从而实现透镜的轴向调整。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 物镜 透镜 轴向 调整 装置 | ||
【主权项】：
光刻物镜中透镜轴向调整装置，包括镜框（1‑1）、透镜（1‑2）、镜筒（2‑1）、上膜片（2‑2）、下膜片（2‑3）、连接环（2‑4）和三个驱动器（2‑5）；其特征是，所述镜片（1‑2）设置在上镜框（1‑1），镜框（1‑1）固定在上膜片（2‑2）上，所述镜筒（2‑1）设置于上膜片（2‑2）和下膜片（2‑3）的外侧，连接环（2‑4）设置于上膜片（2‑2）和下膜片（2‑3）之间的内侧；三个驱动器（2‑5）周向均匀设置于镜筒（2‑1）上驱动器（2‑5），且与连接环（2‑4）点接触。
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