[发明专利]一种MEMS悬臂梁式加速度计及其制造工艺有效
| 申请号： | 201310305611.2 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104297522B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 孙晨;于连忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS悬臂梁式加速度计，包括测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根悬臂梁相连接；所述质量块与所述框架之间还设置有缓冲梁，所述缓冲梁的一端与所述质量块相连接，所述缓冲梁的另一端与所述框架相连接。缓冲梁可以有效地保护加速度计，防止其因外力过大而损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 悬臂梁 加速度计 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种MEMS悬臂梁式加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根悬臂梁相连接；其特征在于，所述质量块与所述框架之间还设置有缓冲梁，所述缓冲梁的一端与所述质量块相连接，所述缓冲梁的另一端与所述框架相连接；所述悬臂梁为L型折叠梁，包括质量块连接臂及框架连接臂，所述质量块连接臂的中线与所述质量块的中线相对应；所述上盖板及所述下盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度；所述缓冲梁设置在所述质量块的两个端角处，并沿所述质量块的中线对称设置。
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