[发明专利]一种无蚀刻痕的电容屏Sensor制作方法有效
| 申请号： | 201310302064.2 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103365520A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 唐桂昌 | 申请（专利权）人： | 四川世创达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044 |
| 代理公司： | 成都蓉信三星专利事务所(普通合伙) 51106 | 代理人： | 涂凤霞 |
| 地址： | 610500 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无蚀刻痕的电容屏Sensor制作方法，包括（1）导电薄膜烘烤缩水，（2）电极处导电层蚀刻：采用酸刻或蚀刻膏蚀刻的方式，将导电薄膜需要布设电极区域的导电层蚀刻掉，（3）在已蚀刻区域布设电极，（4）将布设好电极的导电薄膜置于烤箱进行烘烤，（5）导电层中央蚀刻出Pattern。本发明改变了现有制作电容屏Sensor的步骤，将原来的导电薄膜→烘烤缩水→导电层蚀刻形成Pattern→电极制作(涉及烘烤)中，制作电极的步骤提前，Pattern的制作提后，这样Pattern制作后，不再经过高温烘烤，而避免了基材形变与导电层形变的不同，水波纹也随之消除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 电容 sensor 制作方法 | ||
【主权项】：
一种无蚀刻痕的电容屏Sensor制作方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）导电薄膜烘烤缩水：将导电薄膜置于烤箱进行缩水，使导电薄膜中杂质吸收的水分析出，内部分子稳定，所述导电薄膜包括基材和设置在基材上的导电层；（2）电极处导电层蚀刻：采用酸刻或蚀刻膏蚀刻的方式，将导电薄膜需要布设电极区域的导电层蚀刻掉；（3）在已蚀刻区域布设电极；（4）将布设好电极的导电薄膜置于烤箱进行烘烤，烘干电极材料；（5）导电层中央蚀刻出Pattern，其中，蚀刻线的宽度小于75μm，蚀刻方式为酸刻、蚀刻膏蚀刻或干刻。
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