[发明专利]衬底保持装置有效
| 申请号： | 201310293729.8 | 申请日： | 2013-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103726096A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 奈良利夫;竹松晴美 | 申请（专利权）人： | 艾工场股份有限公司;东京化工机株式会社 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种衬底保持装置，其可在不使衬底全部区域发生挠曲的情况下保持衬底，并且可简单且低价地制作。所述衬底保持装置具有肘节夹具(30)，该肘节夹具(30)沿衬底的边缘部(P1)而设置，且夹持该衬底的边缘部(P1)而保持衬底。其特征在于，该肘节夹具(30)以衬底(P)的中心(P2)为基准，面对且呈辐射状设置，在各面对部位，沿相反方向拉伸上述衬底的同时夹持衬底(P)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 保持 装置 | ||
【主权项】：
一种衬底保持装置，该衬底保持装置具有多个保持件，该保持件沿衬底的边缘部而设置，并且夹持该衬底的边缘部而保持衬底，其特征在于,这些保持件以上述衬底的中心为基准，相对且呈辐射状设置，在各面对部位，沿相反方向拉伸上述衬底的同时夹持衬底。
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