[发明专利]一种曝光装置及其曝光方法有效
| 申请号： | 201310278663.5 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN103324037A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 马海涛;赵海生 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种曝光装置及其曝光方法，涉及显示技术领域，可以节约曝光工艺的时间，提高产能。所述曝光装置包括曝光灯、掩膜板和打标设备；所述打标设备包括：设置在所述掩膜板上的导轨架，设置在所述导轨架上的至少一个打标车；还包括控制器，所述控制器用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，其特征在于，包括曝光灯、掩膜板和打标设备；所述打标设备包括：导轨架，所述导轨架设置在所述掩膜板上；至少一个打标车，所述打标车设置在所述导轨架上；控制器，用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
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