[发明专利]太阳能电池与其制作方法有效
申请号: | 201310261659.8 | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN103413859A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 杨伯川 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;王颖 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种太阳能电池的制作方法,包含提供基板,形成透明导电层于基板的表面,形成多个光阻于透明导电层上,形成介电层覆盖光阻以及透明导电层上,其中光阻的侧壁部分外露于介电层,移除光阻与覆盖于光阻上的部分介电层,以在保留下来的另一部分介电层上形成多个开口,以及形成多个电极于开口中。一种应用此方法所制作而成的太阳能电池亦在此揭露。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 与其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,包含:提供一基板;形成一透明导电层于该基板的一表面;形成多个光阻图案于该透明导电层上;形成一介电层覆盖这些光阻图案以及该透明导电层上,其中这些光阻图案的侧壁部分外露于该介电层;移除这些光阻图案与覆盖于这些光阻图案上的部分该介电层,以在保留下来的另一部分该介电层上形成多个开口;以及形成多个电极于这些开口中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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