[发明专利]背离率的计算方法和二次离子质谱分析方法有效
| 申请号： | 201310232003.3 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104237279B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 史江北;李震远;郑晓刚;李爱民;刘竞文 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种背离率的计算方法及二次离子质谱分析方法。包括提供待测样品和标准样品，并将所述待测样品和标准样品整合在同一坐标系中；在保证区域面积和曲率不变的情况下，对所述待测样品和标准样品进行高斯平滑处理；将处理后的待测样品和标准样品做点对点除法处理，得到拟合曲线；在所述拟合曲线中限定可用区域；由所述可用区域获得所述背离率；获得了与离子注入角度偏差成正比的背离率，从而能够明确判断设备是否需要维护节省了时间和耗材；并能够侦测到离子注入机早期微小的异常并给出改进方向。 | ||
| 搜索关键词： | 背离 计算方法 二次 离子 谱分析 方法 | ||
【主权项】：
一种背离率的计算方法，用于检测离子注入工艺参数，其特征在于，包括：提供待测样品和标准样品，并将所述待测样品和标准样品整合在同一坐标系中，所述待测样品和标准样品皆为离子注入后获取的二次离子质谱分析坐标图像；在保证区域面积和曲率不变的情况下，对所述待测样品和标准样品进行高斯平滑处理；将处理后的待测样品和标准样品做点对点除法处理，得到拟合曲线；在所述拟合曲线中限定可用区域，结合由所述待测样品和标准样品所决定的噪音区域、离子注入浓度相差最大的区域，包括至少95％的离子注入量及所述拟合曲线的纵坐标可用值限定可用区域；由所述可用区域获得所述背离率，在所述可用区域中定义点a、b、c，分别计算a、b两点和b、c两点的斜率，并取绝对值最大的一个斜率的绝对值作为背离率；其中，在所述背离率小于等于1时，所述背离率与离子注入角度偏差成正比。
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- 2015-12-26 - 2016-04-06 - G01N23/225
- 一种连铸钢坯合金元素偏析的评价方法，属于连铸钢坯的成分分析技术领域。将连铸钢坯加工成适合样品台的试样；利用电子探针对连铸钢坯试样进行面扫描分析；定义偏析度A；利用Matlab软件编写一个M程序来计算A的数值；比较偏析度A的大小，确定连铸钢坯合金元素偏析程度的优劣。优点在于为，优化连铸工艺提供依据。
- 一种钢中元素偏析程度的评定方法-201510783983.5
- 赵亚娟;高兵;秦小梅;李建宾;李雪洁;李平和 - 南京钢铁股份有限公司
- 2015-11-16 - 2016-03-30 - G01N23/225
- 本发明涉及一种钢中元素偏析程度的评定方法，依次包括试样的打磨步骤、抛光步骤以及腐蚀步骤，还包括试样的测试步骤和分析计算步骤；所述试样的测试步骤包括偏析区域测试步骤、试样正常区域测试步骤；采用偏析率评价钢板中元素偏析程度，改变了传统方法不能定量、且人为评级判断误差大的缺点，可以准确的确定引起偏析的具体元素及偏析程度，弥补了传统方法的不足，对钢种开发及工艺改进具有重要的参考意义。本发明方法简单易行，解决了现有技术存在的检测结果只能定性不能定量的问题，为改善钢板偏析工艺提供了数据基础。
- 一种基于扫描电镜和能谱分析电触头材料中夹杂物的测试方法-201510744077.4
- 王珩;宋振阳;翁桅;柏小平;林万焕 - 福达合金材料股份有限公司
- 2015-11-05 - 2016-03-23 - G01N23/225
- 本发明涉及一种基于扫描电镜和能谱分析电触头材料中夹杂物的测试方法，步骤包括：(1)电触头材料金相试样取样，分别在平行于电触头材料工作面和垂直于电触头材料工作面取样；(2)电触头材料金相试样制作，采用镶嵌、抛光、侵蚀获得金相试样；(3)电触头材料金相试样扫描电镜观察，背散射条件下可以观察到金相试样中夹杂物形状、尺寸和数量；(4)电触头材料金相试样能谱分析，背散射条件下可以确定金相试样中夹杂物的成分。
- 一种钢板中马奥岛的标定方法-201510785236.5
- 秦小梅;赵亚娟;李建宾;李平和 - 南京钢铁股份有限公司
- 2015-11-16 - 2016-03-02 - G01N23/225
- 本发明涉及一种钢板中马奥岛的标定方法，依次包括样品的打磨步骤、抛光步骤以及腐蚀步骤；还包括将经过腐蚀处理后的样品连同电子探针分析仪所配备的标准样品一起固定在专业样品台上，将专业样品台放置到电子探针分析仪的测试样品托盘中，然后将专业样品台抽真空至真空度不大于10-4 Pa；本发明对钢板中马奥岛的C、Fe元素进行线扫描分析，根据C元素浓度的变化来标定马奥岛及其尺寸，得出一个准确度高、标定值可靠的方法来标定马奥岛。采用此种方法来评价钢板中的马奥岛，改变了以前方法中人为误差大的缺点，可以准确的标定钢板中的马奥岛，弥补了以前方法的不足，对钢种开发及工艺改进具有重要的参考意义。
- 一种透射/扫描电镜力、热耦合场加载的原位实验平台-201510813388.1
- 韩晓东;张韬楠;毛圣成;王晓冬;李志鹏;栗晓辰;马东峰;翟亚迪;张剑飞;张泽 - 北京工业大学
- 2015-11-22 - 2016-02-03 - G01N23/225
- 一种透射/扫描电镜力、热耦合场加载的原位实验平台属于材料显微结构-力学性能原位表征领域。该平台主要由加热兼样品搭载的加热区、驱动梁、热沉梁、质量块和衬底组成。该平台驱动部分为V型电热驱动梁，步进精度可达纳米量级，变形方式可以实现单轴拉伸。该平台整体尺寸小，可置于多电极TEM双轴倾转样品杆前端的狭小空间内，并配合样品杆进行双轴倾转观测；该平台同样可以与扫描电镜及扫描电镜装配的附件如：各种能谱、显微结构(EBSD)配合使用。在材料被加热并变形的同时，可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料室温～高温(600℃)的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。
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