[发明专利]一种半导体测试探针清洗装置及方法有效
| 申请号： | 201310225946.3 | 申请日： | 2013-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103316865A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杨波;杨应俊;韦日文;刘振辉;沈杰;梁贵;王业文;柯权珍;高小伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体测试探针清洗装置及方法，该装置包括第一液体容器，所述第一液体容器具有第一容器开口和第一容器底部，从所述第一容器底部至第一容器开口所述第一液体容器的横截面逐渐收窄。本发明中折弯型的半导体测试探针更容易伸入第一液体容器中完成清洗；另外，采用的第二液体容器可以收集从第一液体容器中外溢的液体，防止其对其他机构造成损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 探针 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体测试探针清洗装置，包括第一液体容器，其特征是：所述第一液体容器具有第一容器开口和第一容器底部，从所述第一容器底部至第一容器开口所述第一液体容器的横截面逐渐收窄。
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