[发明专利]圆筒形掩模板的涂布装置和涂布方法有效
| 申请号： | 201310222164.4 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104216230B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;伍强;胡华勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种圆筒形掩模板的涂布装置和涂布方法，所述涂布装置包括：基台；精密位移控制平台，位于基台上，精密位移控制平台在基台上沿扫描方向直线来回移动；压印模板，固定于精密位移控制平台的上表面，所述压印模板内具有凹槽；光刻胶喷头，位于压印模板上方，用于向凹槽内喷吐光刻胶；掩模板载物台，用于装载圆筒形掩模板，使圆筒形掩模板绕中心轴旋转，并能使圆筒形掩模板的表面贴合压印模板的上表面；其中，当在凹槽内喷吐满光刻胶时，圆筒形掩模板的表面贴合压印模板的上表面，精密位移控制平台沿扫描方向移动，同时圆筒形掩模板绕中心轴旋转，将凹槽内的光刻胶涂覆于圆筒形掩模板表面。该涂布装置能在圆筒形掩模板表面形成厚度均匀的光刻胶层。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒形 掩模板 压印模板 精密位移 控制平台 涂布装置 光刻胶 上表面 掩模板表面 表面贴合 扫描方向 中心轴 掩模板载物台 光刻胶喷头 光刻胶层 厚度均匀 基台 涂覆 移动 装载 | ||
【主权项】：
一种圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，包括：基台；精密位移控制平台，位于基台上，所述精密位移控制平台在基台上沿扫描方向直线来回移动；压印模板，固定于精密位移控制平台的上表面，所述压印模板内具有凹槽，凹槽贯穿压印模板的部分上表面，所述凹槽用于容纳光刻胶，所述压印模板的凹槽的长度大于等于圆筒形掩模板的表面周长；光刻胶喷头，位于压印模板上方，用于向凹槽内喷吐光刻胶；掩模板载物台，用于装载圆筒形掩模板，使圆筒形掩模板绕中心轴旋转，并能使圆筒形掩模板的表面贴合压印模板的上表面；其中，当在凹槽内喷吐满光刻胶时，圆筒形掩模板的表面贴合压印模板的上表面，精密位移控制平台沿扫描方向移动，同时圆筒形掩模板绕中心轴旋转，将凹槽内的光刻胶涂覆于圆筒形掩模板表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310222164.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改善可变排量发动机爆震的控制
- 下一篇：触摸屏及触摸屏的制造方法
