[发明专利]磁传感器的制备方法以及磁传感器有效
| 申请号： | 201310214969.4 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104218149A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张挺;杨鹤俊;万旭东 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/02;G01R33/09 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁传感器的制备方法以及磁传感器。所述方法包括如下步骤：提供衬底，所述衬底表面具有至少一个凸台；在凸台和衬底的表面形成Z轴磁感应单元，并在衬底的表面形成感测单元，所述Z轴磁感应单元包括磁化本体以及引出端，所述Z轴磁感应单元和感测单元包含有磁性材料；在所述衬底表面形成连续的电极层，所述电极层亦覆盖所述凸台；图形化所述电极层，以在感测单元表面形成工作电极，并同时在凸台侧壁上的磁化本体表面形成自检测电极。本发明的优点在于，在磁化本体的表面设置了自检测电极，可以用于直接测试磁化本体对Z轴磁场是否敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种磁传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供衬底，所述衬底表面具有至少一个凸台；在凸台的侧壁和衬底的表面形成Z轴磁感应单元，并在衬底的表面形成感测单元，所述Z轴磁感应单元包括一与凸台侧壁贴合的磁化本体以及一延伸至衬底表面的引出端，所述Z轴磁感应单元和感测单元包含有磁性材料；在所述衬底表面形成连续的电极层，所述电极层亦覆盖所述凸台；图形化所述电极层，以在感测单元表面形成工作电极，并同时在凸台侧壁上的磁化本体表面形成自检测电极。
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