[发明专利]一种面向芯片级器件的焊点制备方法及装置有效
申请号: | 201310210444.3 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103325716A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 陈建魁;黄永安;尹周平;郭熙乾 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60;B05B5/025 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 朱仁玲 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种面向芯片级器件的焊点制备装置,包括:溶液容器,用于提供焊料溶液;流量分配器,其上设置有阵列布置的多个喷嘴,其与溶液容器连通,焊料溶液通过喷嘴喷出;器件固定板,其通过一底板固定在喷嘴下方,其上平铺有待制备焊点的器件,且该器件固定板与喷嘴通过高压发生器相连,两者之间形成高压电场;还包括管芯模,其包括呈阵列布置的多个管芯,且各管芯一一对应配合插装在喷嘴中,在各喷嘴和管芯之间的空隙内形成容纳焊料溶液的空间,在电场的作用下,焊料溶液通过该喷嘴中的空间进行流量分配后喷出形成喷点或喷丝,滴落于器件表面形成焊点。本发明可制作芯片级器件上微米级尺寸的焊点,比传统喷印方法分辨率高1-2个数量级,且适合高粘度的溶液。 | ||
搜索关键词: | 一种 面向 芯片级 器件 制备 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种面向芯片级器件的焊点制备装置,其利用电流体喷印在器件表面制备出微米级焊点,其特征在于,该装置具体包括:溶液容器(1),用于提供制备焊点的焊料溶液;流量分配器(3),其上设置有阵列布置的多个喷嘴(101),其与所述溶液容器(1)连通,焊料溶液通过所述喷嘴(101)喷出;器件固定板(6),其通过一底板(8)固定在喷嘴(101)下方,其上平铺有待制备焊点的器件,且该器件固定板(6)与所述喷嘴通过高压发生器(4)相连,使得在两者之间形成高压电场;其特征在于,该装置中还包括管芯模(9),其包括呈阵列布置的多个管芯(102、105),且所述各管芯(102、105)一一对应配合插装在所述喷嘴(101)中,从而在各喷嘴(101)和管芯(102、105)之间的空隙内形成容纳焊料溶液的空间,在所述电场的作用下,焊料溶液通过该喷嘴(101)中的该空间进行流量分配后喷出形成喷点或喷丝,并滴落于器件表面,从而形成焊点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造