[发明专利]一种面向芯片级器件的焊点制备方法及装置有效

专利信息
申请号: 201310210444.3 申请日: 2013-05-31
公开(公告)号: CN103325716A 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 陈建魁;黄永安;尹周平;郭熙乾 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/60;B05B5/025
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 朱仁玲
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种面向芯片级器件的焊点制备装置,包括:溶液容器,用于提供焊料溶液;流量分配器,其上设置有阵列布置的多个喷嘴,其与溶液容器连通,焊料溶液通过喷嘴喷出;器件固定板,其通过一底板固定在喷嘴下方,其上平铺有待制备焊点的器件,且该器件固定板与喷嘴通过高压发生器相连,两者之间形成高压电场;还包括管芯模,其包括呈阵列布置的多个管芯,且各管芯一一对应配合插装在喷嘴中,在各喷嘴和管芯之间的空隙内形成容纳焊料溶液的空间,在电场的作用下,焊料溶液通过该喷嘴中的空间进行流量分配后喷出形成喷点或喷丝,滴落于器件表面形成焊点。本发明可制作芯片级器件上微米级尺寸的焊点,比传统喷印方法分辨率高1-2个数量级,且适合高粘度的溶液。
搜索关键词: 一种 面向 芯片级 器件 制备 方法 装置
【主权项】:
一种面向芯片级器件的焊点制备装置,其利用电流体喷印在器件表面制备出微米级焊点,其特征在于,该装置具体包括:溶液容器(1),用于提供制备焊点的焊料溶液;流量分配器(3),其上设置有阵列布置的多个喷嘴(101),其与所述溶液容器(1)连通,焊料溶液通过所述喷嘴(101)喷出;器件固定板(6),其通过一底板(8)固定在喷嘴(101)下方,其上平铺有待制备焊点的器件,且该器件固定板(6)与所述喷嘴通过高压发生器(4)相连,使得在两者之间形成高压电场;其特征在于,该装置中还包括管芯模(9),其包括呈阵列布置的多个管芯(102、105),且所述各管芯(102、105)一一对应配合插装在所述喷嘴(101)中,从而在各喷嘴(101)和管芯(102、105)之间的空隙内形成容纳焊料溶液的空间,在所述电场的作用下,焊料溶液通过该喷嘴(101)中的该空间进行流量分配后喷出形成喷点或喷丝,并滴落于器件表面,从而形成焊点。
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