[发明专利]光致抗蚀剂用树脂组合物、光致抗蚀剂以及液晶设备的制造方法在审
| 申请号： | 201310170897.8 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103389622A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 今村裕治 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/023;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种灵敏度、图案形状、分辨率以及残膜性各自平衡良好的优异的光致抗蚀剂用树脂组合物。一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有:（A）使含有间甲酚、对甲酚以及2，5-二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃～220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂，（B）萘醌二叠氮化物衍生物，和（C）溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 树脂 组合 光致抗蚀剂 以及 液晶 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有:（A）使含有间甲酚、对甲酚以及2，5‑二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃～220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂，（B）萘醌二叠氮化物衍生物，和（C）溶剂。
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