[发明专利]三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的装置及方法有效
| 申请号： | 201310102815.6 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103172071A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;王国峰;王红星;陈锦溢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的装置及方法，由歧化反应精馏工序(A)、四氯化硅吸收工序(B)、固定床吸附工序(C)和产品罐装工序(D)连接而成；用两步歧化反应，并利用反应精馏塔的精馏分离作用，最终在塔顶得到硅烷与二氯二氢硅的混合气体，作为冷凝器的不凝气采出，塔釜得到反应生成的四氯化硅产品；歧化反应精馏塔采出的气相产品进入四氯化硅吸收塔，吸收气主要成分为硅烷，吸收液进入四氯化硅解析塔，解析出的二氯二氢硅塔顶采出，塔釜解析液返回四氯化硅吸收塔；吸收气随后进入固定床吸附进行处理得到高纯硅烷产品；硅烷产品经产品缓冲罐进行加压罐装。本发明工艺设备简单，使得硅烷产品纯度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅歧化 反应 精馏 制备 高纯 硅烷 装置 方法 | ||
【主权项】：
三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的装置，其特征是由歧化反应精馏工序(A)、四氯化硅吸收工序(B)、固定床吸附工序(C)和产品罐装工序(D)连接而成；歧化反应精馏工序(A)包括歧化反应精馏塔（1）；四氯化硅吸收工序(B)包括四氯化硅吸收塔（2）和四氯化硅解析塔（3）；固定床吸附工序(C)包括吸附固定床（4）；产品罐装工序(D)包括产品缓冲罐（5）、产品压缩泵（6）和罐装器（7）。
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