[发明专利]一种新型蚀刻片连续曝光机及其工艺方法无效
| 申请号： | 201310099268.0 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103279012A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 何公明 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种新型蚀刻片连续曝光机，其中，包括：上台框与下台框，所述上台框与所述下台框之间的空间形成曝光区域，所述上台框与下台框两侧下方均设有一支撑板，两所述支撑板之间设有一滚轴，且所述滚轴位于曝光区域的一侧，所述滚轴与所述曝光区域之间设有固定传送滑轮，利用固定固定传送滑轮将滚轴上的产品送入曝光区域内进行对产品的曝光。通过使用本发明一种新型蚀刻片连续曝光机，有效地提高曝光机在生产过程中连续性减少加工时运输材料的时间，其结构简单，给人的使用带来了更大的便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 蚀刻 连续 曝光 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种新型蚀刻片连续曝光机，其特征在于，包括：上台框与下台框，所述上台框设于所述下台框上方，所述上台框与所述下台框之间的空间形成曝光区域，所述上台框与下台框均为矩形，所述下台框下侧面顶角处均设有一小气缸，所述上框台下侧面顶角处均设有一大气缸，所述上台框与下台框两侧下方均设有一支撑板，所述小气缸与所述大气缸均连接于所述支撑板顶面，每一所述支撑板的长度长于所述上台框与所述下台框的长度，两所述支撑板之间设有一滚轴，且所述滚轴位于曝光区域的一侧，所述滚轴与所述曝光区域之间设有固定传送滑轮。
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