[发明专利]真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法

摘要

本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。

主权项

一种真空蒸镀装置，其特征在于包括：真空蒸镀容器，用于在规定的真空条件下从蒸镀喷嘴排出蒸镀材料，并将蒸镀材料蒸镀在对象物上；至少两个蒸发装置，分别具有收容了蒸镀材料的坩锅和对所述坩锅进行加热的蒸发用加热装置；至少两个输送管，分别与各所述蒸发装置连接；合流管，使从各所述输送管排出的蒸镀材料合流并向蒸镀喷嘴送出；以及至少两个连续蒸镀操作部，设置于各所述输送管；各连续蒸镀操作部分别从蒸发装置一侧开始依次具有：除气管，与所述输送管连接，并且在中途安装有除气阀；闸阀，能够关闭和打开输送管；以及流量调整阀，能够调整蒸镀材料的流量，所述输送管、合流管、除气管、闸阀和流量调整阀分别具备加热装置，所述真空蒸镀装置还具有连续蒸镀控制器，当更换坩锅时，所述连续蒸镀控制器进行控制，以便通过关闭与更换的坩锅对应的连续蒸镀操作部的所述闸阀，使与输送管连接的蒸发装置的坩锅向大气敞开而能够更换新的坩锅，并且在更换为新的坩锅后，在打开所述除气阀并从所述除气管对输送管内的空气进行除气而成为规定的真空条件的基础上，打开所述闸阀，当更换坩锅时，在更换坩埚一侧，所述连续蒸镀控制器在使流量调整阀和合流管的加热装置继续进行加热的状态下，断开蒸发用加热装置，并且断开输送管、除气管和闸阀所使用的加热装置，在关闭所述闸阀并更换了蒸发装置的坩锅之后，将除气阀打开并从除气管对输送管内的空气进行除气从而成为规定的真空条件，使蒸发用加热装置导通而成为蒸镀材料不蒸发的预备加热状态，使各加热装置导通并再次开始输送管、除气管和闸阀的加热。