[发明专利]一种微透镜的制作方法有效
| 申请号： | 201310091860.6 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103178161A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 岳爱文;胡艳;李晶;王权兵 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 刘淑敏 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微透镜的制作方法，包括：A.将晶片（1）表面涂上光敏性的苯并环丁烯BCB涂层（2），并置于氮气中，在大于摄氏100℃的条件下加热，使所述BCB涂层（2）软固化；B.然后采用光刻法在所述晶片（1）表面制作柱状BCB（3）；C.对所述柱状BCB（3）进行热固化处理，将所述柱状 BCB（3）融化成球状形成BCB透镜（4）。采用本发明的方法，能够简化传统微透镜制作方法中的复杂加工工艺，并降低制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微透镜的制作方法，其特征在于，包括：A、将晶片（1）表面涂上光敏性的苯并环丁烯BCB涂层（2），并置于氮气中，在大于摄氏100℃的条件下加热，使所述BCB涂层（2）软固化；B、然后采用光刻法在所述晶片（1）表面制作柱状BCB（3）；C、对所述柱状BCB（3）进行热固化处理，将所述柱状 BCB（3）融化成球状形成BCB透镜（4）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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