[发明专利]采用并五苯作为栅绝缘层钝化的C60有机场效应晶体管

摘要

一种采用并五苯作为栅绝缘层钝化的C60有机场效应晶体管，由氧化铟锡（ITO）玻璃衬底兼栅电极、有机聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）栅绝缘层、有机半导体并五苯（Pentacene）钝化层、n型有机半导体C60有源层、Al源电极和Al漏电极叠加组成。本发明的优点是：以有机半导体材料并五苯超薄层作为绝缘层/有源层界面钝化层的有机场效应晶体管，一方面能减少电荷的俘获，使载流子更容易传输，另一方面，能够有效的改变有源层的形貌和结晶度，提高载流子的迁移率；本发明提供了一种提高n型有机场效应晶体管器件性能的有效方法，该方法工艺简单、易于实施，便于推广应用。

主权项

一种采用并五苯作为栅绝缘层钝化的C60有机场效应晶体管，其特征在于：由氧化铟锡（ITO）玻璃衬底兼栅电极、有机聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）栅绝缘层、有机半导体并五苯（Pentacene）钝化层、n型有机半导体C60有源层、Al源电极和Al漏电极叠加组成，其结构表达式为ITO/PMMA/Pentacene/C60/Al。