[发明专利]用于真空涂层设备的多功能节流真空管道结构及其控制系统

摘要

本发明公开用于真空涂层设备的节流型管道结构及节流控制系统，节流型管道结构包括真空管(3)，其特征在于在真空管(3)中设有连接法兰(1)、密封圈(2)和冷却套(4)，在真空管(3)内腔设有若干个节流挡板结构(5)，节流挡板结构(5)由挡板连接角度调节单元构成，通过角度调节单元调节挡板的角度控制真空管内的气体通过量以稳定抽速；冷却套(4)环绕在真空管(3)的四周形成对真空管(3)的包裹结构，在冷却套(4)的内腔设有冷媒，冷却套(4)的内腔与连接法兰(1)连通；节流控制系统包括计算机控制系统(10)、真空室(11)、扩散泵(12)和水冷式真空节流连接管。本发明具有实现扩散油泵稳速抽气、持续保持真空室高真空的有益效果。

主权项

具有节流型真空管道结构的用于真空涂层设备的节流控制系统，其特征在于：包括计算机控制系统（10）、真空室（11）、油扩散泵（12）和节流型真空管道结构，节流型真空管道结构通过两端的连接法兰（1）与真空室（11）、油扩散泵（12）的高真空挡板阀（12‑1）连接，计算机控制系统（10）的输入端之一通过真空测量规管(15‑1)连通真空室（11）内腔，计算机控制系统（10）的输入端之二通过真空测量规管(15‑2)连接高真空挡板阀（12‑1）即油扩散泵（12）入口端；计算机控制系统（10）的输出端之一通过比例调节器（13）连接节流型真空管道结构的角度调节驱动端，计算机控制系统（10）的输出端之二连接气体质量流量计（14），控制真空室(11)工艺气体的输入量，形成智能型油扩散泵的压力控制系统；所述节流型真空管道结构，包括真空管道（3），在真空管道（3）的两端设有连接法兰（1）和密封圈（2），在真空管（3）的外侧壁设有冷却套（4），在真空管道（3）的内腔设有若干个节流挡板结构（5）；节流挡板结构（5）由挡板连接角度调节单元构成，角度调节单元的驱动输出端与挡板活动连接，通过角度调节单元调节挡板的角度控制真空管道内的气体通过量以稳定抽速；密封圈（2）设置在连接法兰（1）端面的环形凹槽内，冷却套（4）环绕在真空管道（3）的四周，形成对真空管道（3）的包裹结构，冷却套（4）的首、尾端连接到连接法兰（1）的端面上，在冷却套（4）的内腔设有冷媒，冷却套（4）的内腔与连接法兰（1）连通。