[发明专利]晶片对准装置和方法无效
| 申请号： | 201310071226.6 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103311168A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 崔丞佑;朴庆善 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 鲁恭诚;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片对准装置和方法，所述晶片对准装置包括：第一晶片保持器和第二晶片保持器，分别支撑第一晶片和第二晶片；保持器运动单元，被构造成使第一晶片保持器和第二晶片保持器中的至少一个运动，从而使第一晶片和第二晶片彼此预对准并彼此面对；一个或更多个观测单元，相对于预对准的第一晶片和第二晶片沿水平方向布置，并被构造成在第一晶片和第二晶片通过保持器运动单元彼此预对准的状态下观测第一晶片和第二晶片的边缘部分；控制单元，被构造成基于由所述一个或更多个观测单元观测到的信息控制保持器运动单元，以当第一晶片和第二晶片的边缘部分在期望的对准状态之外时使第一晶片和第二晶片再对准。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种晶片对准装置，包括：第一晶片保持器和第二晶片保持器，被构造成分别支撑第一晶片和第二晶片；保持器运动单元，被构造成使第一晶片保持器和第二晶片保持器中的至少一个运动，从而使第一晶片和第二晶片彼此预对准并彼此面对；一个或更多个观测单元，相对于预对准的第一晶片和第二晶片沿水平方向布置，并被构造成在第一晶片和第二晶片通过保持器运动单元彼此预对准的状态下观测第一晶片和第二晶片的边缘部分；以及控制单元，被构造成基于由所述一个或更多个观测单元观测到的信息控制保持器运动单元，以当第一晶片和第二晶片的边缘部分在期望的对准状态之外时使第一晶片和第二晶片再对准。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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