[发明专利]一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜有效
| 申请号： | 201310066032.7 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103166112A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 钱时昌 | 申请（专利权）人： | 溧阳华晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/327 | 分类号： | H01S5/327 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 蒋家华 |
| 地址： | 213300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11％，氮的摩尔百分含量是0.8-1.7％；其中，所述p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/N，其电阻率大于1.2×1010Ω·cm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮镁共 掺杂 氧化锌 薄膜 | ||
【主权项】：
一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，其特征在于：所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5‑11％，氮的摩尔百分含量是0.8‑1.7％；其中，所述p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/N，其电阻率大于1.2×1010Ω·cm。
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