[发明专利]传感器元件、传感器器件以及电子设备在审
| 申请号： | 201310061309.7 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103292797A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 市川史生 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供传感器元件、传感器器件以及电子设备，具有优异的检测灵敏度。传感器元件(2)具有：基部(21)；从基部(21)延伸的检测用振动臂(23、24)；以及在检测用振动臂(23、24)上设置的检测部(41～44)，检测部(41～44)分别具有下部电极层、上部电极层以及压电体层，检测部(41、42)的下部电极之间，以及检测部(43、44)的下部电极之间彼此电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 器件 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：基部；从所述基部延伸的检测用振动臂；以及第1检测部和第2检测部，它们设置在所述检测用振动臂上，伴随于所述检测用振动臂的振动而输出电荷，所述第1检测部具有第1下部电极层、第1上部电极层、以及设置在所述第1下部电极层与所述第1上部电极层之间的第1压电体层，所述第1下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，所述第2检测部具有第2下部电极层、第2上部电极层、以及设置在所述第2下部电极层与所述第2上部电极层之间的第2压电体层，所述第2下部电极层设置在所述检测用振动臂侧，所述第1下部电极层与所述第2下部电极层电连接，或者，所述第1上部电极层与所述第2上部电极层电连接。
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