[发明专利]非均匀场强等离子体废气处理装置及处理系统

摘要

一种非均匀场强等离子体废气处理装置及处理系统，处理系统包括进气管、填料塔、处理装置、离心风机和排气管依次连通，处理装置的等离子壳体内安装若干层等离子处理机构，等离子处理机构包括基座，基座内设有环状凸缘，凸缘前、后面连接地电极板和高压电极板，地电极板与凸缘间有出风口且二者之间有绝缘介质板，高压电极板前表面具有若干尖锥体，其尖端设通孔，地电极板外表面和高压电极板后表面分别设第一、二绝缘层，第二绝缘层上设第二通孔，高压电极和地电极板分别通过电极引出线与高压电源的高压端、接地端连接。本发明能在较低击穿场强下产生高密度等离子体，可处理全部气体，延长气体与等离子体作用时间，提高处理效率。

主权项

一种非均匀场强等离子体废气处理装置，其特征在于：包括等离子壳体(5)，所述等离子壳体(5)上设有进、出气口，位于进、出气口之间的等离子壳体(5)的内腔部分上至少一个横截面内安装有若干个等离子处理机构(9)，位于同一横截面内的所述等离子处理机构(9)相互沿外缘方向连接且填满所在的横截面，所述等离子处理机构(9)垂直于等离子壳体(5)的进气口，所述等离子处理机构(9)包括框形基座(10)，所述基座(10)由绝缘材料制成，所述基座(10)的内腔壁沿周向延伸有环状凸缘(11)，所述凸缘(11)的前、后面分别连接地电极板(12)和高压电极板(13)，所述地电极板(12)的外缘与凸缘(11)之间设有出风口(14)，所述凸缘(11)与地电极板(12)之间设有绝缘介质板(15)，所述地电极板(12)的外表面设有第一绝缘层(16)，所述地电极板(12)上连接有地电极引出线，所述地电极引出线穿过第一绝缘层(16)后与高压交流电源的接地端连接，所述高压电极板(13)的前表面具有若干个尖锥体(17)，各所述尖锥体(17)的后表面为相应的锥形槽，各所述尖锥体(17)的尖端分别设有第一通孔(18)，所述高压电极板(13)的后表面设有第二绝缘层(19)，所述第二绝缘层(19)上与各第一通孔(18)位置前、后对应的部位分别设有第二通孔(20)，所述高压电极板(13)连接高压电极引出线(21)，所述高压电极引出线(21)穿出基座(10)后与高压电源的高压端连接。