[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 201310055320.2 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103364478A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 高桥朋宏;荒木浩之 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/60 | 分类号： | G01N27/60;G01N1/28 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 董雅会;郭晓东 |
| 地址： | 日本国京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的基板处理装置，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，使从处理槽排出的磷酸水溶液依次流过循环泵、循环用加热器、过滤器，并且使磷酸水溶液从过滤器返回上述处理槽中；分支管，在循环用加热器与过滤器之间从循环路分支，从循环路中提取磷酸水溶液；浓度测定部，与分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，用于使从上述处理槽排出的磷酸水溶液依次流过上述循环泵、上述循环用加热器、上述过滤器，并且使磷酸水溶液从上述过滤器返回上述处理槽中；分支管，在上述循环用加热器与上述过滤器之间从上述循环路分支，用于从上述循环路提取磷酸水溶液；浓度测定部，与上述分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。
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