[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，

包括：

循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，用于使从上述处理槽排出的磷酸水溶液依次流过上述循环泵、上述循环用加热器、上述过滤器，并且使磷酸水溶液从上述过滤器返回上述处理槽中；

分支管，在上述循环用加热器与上述过滤器之间从上述循环路分支，用于从上述循环路提取磷酸水溶液；

浓度测定部，与上述分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置还具有采样用加热器，该采样用加热器对从上述循环路提取的磷酸水溶液进行加热。

3.一种基板处理装置，其特征在于，

包括：

循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，用于使从上述处理槽排出的磷酸水溶液依次流过上述循环泵、上述循环用加热器、上述过滤器，并且使磷酸水溶液从上述过滤器返回上述处理槽中；

分支管，从上述循环路分支，用于从上述循环路提取磷酸水溶液；

浓度测定部，与上述分支管相连通连接，通过电位差测定法测定所提取的磷酸水溶液中的硅浓度；

采样用加热器，对从上述循环路中抽出的磷酸水溶液进行加热。

4.根据权利要求2或者3所述的基板处理装置，其特征在于，上述采样用加热器安装于上述分支管，用于对上述分支管内的磷酸水溶液进行加热。

5.根据权利要求2或者3所述的基板处理装置，其特征在于，上述采样用加热器安装于上述浓度测定部，用于对上述浓度测定部内的磷酸水溶液或者含有该磷酸水溶液的溶液进行加热。

6.根据权利要求2或者3所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置具有秤量部，该秤量部与上述分支管相连通连接，用于对规定量的磷酸水溶液进行称量，

上述浓度测定部测定由上述秤量部秤量过的磷酸水溶液中的硅浓度，

上述采样用加热器安装于上述秤量部，用于对上述秤量部内的磷酸水溶液进行加热。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，上述秤量部具有秤量容器，该秤量容器用于贮存规定量的磷酸水溶液。

8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，

上述秤量部具有：

注射筒，其形成为筒状；

柱塞，以气密的状态在上述注射筒内滑动；

驱动部，驱动上述柱塞，来将规定量的磷酸水溶液抽吸至上述注射筒内，并且从上述注射筒排出规定量的磷酸水溶液。

9.根据权利要求1或者3所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置具有秤量部，该秤量部与上述分支管相连通连接，用于对规定量的磷酸水溶液进行称量，

上述浓度测定部测定由上述秤量部秤量过的磷酸水溶液中的硅浓度。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，上述秤量部具有秤量容器，该秤量容器用于贮存规定量的磷酸水溶液。

11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

上述秤量部具有：

注射筒，其形成为筒状；

柱塞，以气密的状态在上述注射筒内滑动；

驱动部，驱动上述柱塞，来将规定量的磷酸水溶液抽吸至上述注射筒内，并且从上述注射筒排出规定量的磷酸水溶液。

12.根据权利要求1或者3所述的基板处理装置，其特征在于，

上述处理槽具有内槽和外槽，其中，该内槽用于贮存磷酸水溶液来浸渍基板，该外槽用于回收从上述内槽溢出的磷酸水溶液，

上述过滤器具有设置于该过滤器的入口部与出口部之间的过滤部件，

上述循环路具有第一配管和第二配管，其中，该第一配管连通连接上述过滤器的出口部和上述内槽，该第二配管连通连接上述过滤器的入口部和上述外槽，

上述分支管从上述第二配管分支。