[发明专利]一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及使用方法有效
申请号: | 201310049552.7 | 申请日: | 2013-02-07 |
公开(公告)号: | CN103132079A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 周波轩;徐苏凡;武敏莉 | 申请(专利权)人: | 睿纳能源科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23F1/24 | 分类号: | C23F1/24;C30B33/10 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 王雪 |
地址: | 201204 上海市浦东新区芳*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂和所述添加剂在金刚线切割多晶硅片酸制绒工艺中的使用方法。所述酸制绒添加剂包括如下组分:聚乙烯醇、聚乙二醇和去离子水,并将其应用于金刚线切割多晶硅片的酸制绒过程。本发明通过将该添加剂应用于金刚线切割多晶硅片的酸制绒工艺,可使制绒后金刚线切割多晶硅片的反射率比常规制绒工艺制绒后金刚线切割多晶硅片的反射率低6%左右。本发明的添加剂无毒性、无腐蚀性,配制和使用工艺简单,具有很好的实际应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 金刚 切割 多晶 硅片 酸制绒 添加剂 使用方法 | ||
【主权项】:
一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂,其特征在于所述添加剂包括如下组分:聚乙烯醇、聚乙二醇和去离子水。
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