[发明专利]基于固支梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法有效
| 申请号： | 201310028143.9 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103048536A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;易真翔;杨国 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于固支梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器及其检测方法，检测器制备在GaAs衬底上，包括共面波导CPW传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器。本发明检测器结构简单新颖，电路尺寸较小，可实现微波信号频率的在线检测，并易于同GaAs单片微波集成电路兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固支梁 直接 功率 传感器 在线 式微 频率 检测器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
基于固支梁和直接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS直接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，两个MEMS固支梁结构悬于待测信号传输线的信号线上方，两个MEMS固支梁结构的固支梁一端分别连接一个MEMS直接式微波功率传感器，另一端分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS直接式微波功率传感器。
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