[发明专利]曝光装置、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201310020306.9 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN103149803A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 安田雅彦;杉原太郎 | 申请（专利权）人： | 尼康股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 能管理位置测量用标记未存在的移动体的位置。将以可拆装方式搭载既定形状的板件(50)的移动体(WST)的位置，以供界定其移动座标系统的测量装置(18等)来测量，并以对准系统(ALG)检测板件(50)的一部分，根据其检测结果与对应的该测量装置的测量结果，来取得板件(50)外周边缘的位置资讯。据此，即使于该移动体(WST)上位置测量用的标记(基准标记)等未存在，仍可根据板件外周边缘的位置资讯，在以该测量装置所界定的移动座标系统上管理板件的位置，亦即移动体的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，是用以将曝光用光束照射于被处理物体，其特征在于具备：移动体，具有配置在形成于上端部的凹部内、保持该被处理物体的保持具；搬送系统，将该被处理物体搬送至配置在该被处理物体的交换位置的该移动体上方；控制装置，控制该移动体与该搬送系统的位置，以从该搬送系统将该被处理物体装载于该移动体的凹部内；以及取得装置，用以取得该凹部的内周边缘与在该凹部内保持于该保持具的物体的位置关系资讯；在该被处理物体的装载前，藉由该搬送系统将该物体装载于该移动体的凹部内；该控制装置，根据所取得的该物体与该凹部的内周边缘该的位置关系资讯，来调整搬送该被处理物体的该搬送系统与该移动体的位置关系，而将该被处理物体装载于该凹部内。
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