[发明专利]一种钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法

摘要

本发明公开了一种钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，包括基体预处理、离子清洗、电弧放电和碳离子沉积；该方法制备的非晶碳薄膜中SP3键结构含量≥80%，摩擦系数约为0.1；与没有镀ta-C膜的样品相比，使用寿命可以提高5-10倍，是非常适合钛和钛合金金属攻丝选用，来解决攻丝过程中的，因金属粘连丝锥断裂等问题，为提高使用效率，延长使用寿命提供一种可行有效的方法。

主权项

一种钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）基体预处理：首先对基体表面进行酒精脱水，然后放入丙酮溶液中，用超声波清洗，氮气吹干；所述基体为硬质合金或高速钢丝锥；（2）离子清洗：将预处理后的基体放入镀膜机真空室的转台上进行离子清洗；（3）形成非晶碳薄膜：启动过滤电弧离子源，离子源的工作气压为≤9×10‑4Pa，电弧电流为80～90A，石墨靶阴极的碳纯度为99.99%，通过电弧放电产生的局部高温使石墨表面气化成碳原子和分子，在放电室中进一步电离后形成碳离子，电离的碳离子通过磁过滤装置过滤掉中性石墨大颗粒后，被沉积在基体表面，形成非晶碳薄膜涂层。