[发明专利]一种钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法

权利要求书

1.一种钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）基体预处理：首先对基体表面进行酒精脱水，然后放入丙酮溶液中，用超声波清洗，氮气吹干；所述基体为硬质合金或高速钢丝锥；

（2）离子清洗：将预处理后的基体放入镀膜机真空室的转台上进行离子清洗；

（3）形成非晶碳薄膜：启动过滤电弧离子源，离子源的工作气压为≤9×10^-4Pa，电弧电流为80～90A，石墨靶阴极的碳纯度为99.99%，通过电弧放电产生的局部高温使石墨表面气化成碳原子和分子，在放电室中进一步电离后形成碳离子，电离的碳离子通过磁过滤装置过滤掉中性石墨大颗粒后，被沉积在基体表面，形成非晶碳薄膜涂层。

2.根据权利要求1所述的钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，其特征在于，所述步骤（2）中离子清洗是指，采用冷阴极离子源，进行离子清洗，离子源通入氩气，流量为10～20sccm,保持真空室气压2～6×10^-2Pa，离子源的放电电压为400V-600V，放电电流为100mA-200mA，引出电压为1000V-1200V，引出电流50mA-100mA，轰击部件10-30分钟，离子源纵向均匀尺寸为40mm，转台以3r/min的线速度旋转，保证横向清洗均匀。

3.根据权利要求1所述的钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，其特征在于，所述步骤（3）中碳离子沉积是指，偏压采用直流脉冲，电源占宽比为1：1，偏压幅值为200V,转台以3r/min的线速度旋转，保证基体涂层横向均匀，磁场扫描线圈沿基体的纵向扫描，扫描的频率为50Hz，基体温度≤80C°，基体的涂层厚度为300-400nm。

4.根据权利要求1所述的钛金属加工用丝锥表面制备非晶碳涂层的方法，其特征在于，所述基体表面形成的非晶碳薄膜涂层为非晶结构，涂层中SP³键结构含量≥80%。